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薄膜厚度测量仪/表面形貌测量系统/应力平整度测试系统

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美国布鲁克Bruker探针式表面轮廓仪---台阶仪DektakXT


布鲁克 (Bruker) 是表面测量和检测技术的全球领导者,服务于科研和生产领域。布鲁克DektakXT (探针式表面轮廓仪)设计创新,实现了更高的重复性和分辨率,垂直高度重复性<5?。这一里程碑式的产品源自于Dektak系列占据业界领先地位长达四十年的优异表面测量技术,实现了纳米尺度的表面轮廓测量。


应用:

纳米尺度的表面轮廓测量、薄膜厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量,应用于微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域

原理:

当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后,输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后,可将位移信号从调幅信号中解调出来,得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。

根据使用传感器的不同,接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。


特征:

?台阶高度重复性优于5埃(<5 ?)

?单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性

?先进的“智能化电子器件”实现了低噪声的新标杆


?操作简便,高效易用

?直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程

?独特的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量

?自对准的探针设计使用户可以轻而易举地更换探针



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