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光学玻璃活化 光刻胶去除小型射频等离子清洗机(频率13.56MHz)

光学玻璃活化 光刻胶去除小型射频等离子清洗机(频率13.56MHz)

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PT-2S真空等离子清洗机 :等离子通常称作物质的第四种状态,前三种状态是固体、液体、气体,它们是比较常见的,就存在于我们周围。等离子在地球上只存在于某种特定环境,如闪电、极光。就好象把固体转变成气体需要能量一样,产生离子体也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子(包括原子、离子和自由粒子)混合组成。离子体能够导电。
等离子技术的应用
通过对物体表面进行等离子轰击,可以达到对物体表面的蚀刻,活化,清洗等目的。可以显著加强这些表面的粘性及焊接强度,等离子表面处理系统现正应用于LCD,LED,IC,PCB,SMT,BGA,引线框架,平板显示器的清洗和蚀刻。等离子清洗过的IC可显著提高焊线强度,减少电路故障的可能性。残余的感光阻剂、树脂,溶液残渣及其他有机污染物暴露于等离子体区,短时间内就能清除。PCB制造商用等离子蚀刻系统进行去污和蚀刻来带走钻孔中的绝缘物。对许多产品,不论它们是应用于工业。电子、航空、健康等行业,可靠性都依靠于两个表面之间的粘结强度。不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的复合物,等离子体都有潜能改进粘着力,提高***终产品质量。等离子体改变任何表面的能力是安全的、环保的、经济的。它是许多行业面临的挑战问题的可行的解决方案。
等离子处理的原理
给一组电极通上射频电源,电极之间形成高频交变电场,区域内气体在交变电场的激荡下,形成等离子体,活性等离子对物体表面进行物理轰击与化学反应双重作用,使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质,经过抽真空排出,而达到表面处理的目的。
在整个等离子处理过程中,影响等离子处理效果的要素包括过程温度、射频功率、气体分配、真空度、电极设置、静电保护等等 等离子清洗机型号:PT-2S型是单路气体输入,不锈钢舱体:Φ100mm×270mm
• 容量:2升
*供电电源: AC220V
*工作电流: 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
*射频电源功率: 200W
*射频频率: 13.56MHZ(偏移量小于0.2KHz)
*频率偏移量: 小于0.2KHz
*特性阻抗: 50欧姆,自动匹配
*真空度: 10Pa—1000Pa
*气体流量: 60—600ml/min(可调)
*过程控制: MCU自动与手动方式
清洗时间: 1-100分钟可调
功率大小 10%-100%可调

*外形尺寸: PT-2S型_400x450x250
*重量: 36.5Kg
*真空泵:

*真空室温度: 小于65°C
*冷却方式: 强制风冷

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