取消

美国EMS 超平硅片(AFM、SEM用基底片)

海德创业(北京)生物科技有限公司
所在地:北京 
最新产品 进入店铺
  • 详情
  • 联系方式

超平硅片(AFM、SEM用硅片)


常作为AFM基底片用在科学研究中,超平硅片的一些参数如下:


4"

6"

8"

直径

100 mm

150 mm

200 mm

向性

<100>

<100>

<100>

级别

P/Boron

P/Boron

P/Boron

Growth Method:

CZ

CZ

CZ

电阻率

10-20 Ohm-cm

10-20 Ohm-cm

10-20 Ohm-cm

厚度

525µm ±20µm

675µm ±20µm

725µm ±20µm

TTV:

<4.00µm

<4.00µm

<4.00µm

SFPD:

<2.0µm

<2.0µm

<2.0µm

Warp:

≤30µm

≤30µm

≤30µm

Bow:

≤30µm

≤30µm

≤30µm

微粒数

≤20@≥0.3µm

≤20@≥0.3µm

≤20@≥0.3µm

正面Front Surface

Polished

Polished

Polished

背面Back Surface

Etched

Etched

Etched

平整度Flat:

2 per SEMI Standard

1 per SEMI Standard

2 per SEMI Standard

Site Flatness:

<2.0µm

<2.0µm

<2.0µm

粗糙Roughness

Typically 2-3Å

Typically 2-3Å

Typically 2-3Å

产品选购:

货号

产品名称

规格

71893-01

Ultra-Flat Silicon Wafer, 4"

1

71893-02

Ultra-Flat Silicon Wafer, 6"

1

71893-03

Ultra-Flat Silicon Wafer, 8"

1

 


以上为"美国EMS 超平硅片(AFM、SEM用基底片)"供应信息
相关推荐