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Semilab 椭偏仪/膜厚测量仪/点击咨询

杭州五光科技有限公司
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 E1000 全光谱椭偏仪

SE-1000全光谱椭偏仪同时也是一个多功能测试平台,采用模块化的设计,可集成FTIR红外光谱测试模组、涡电流法非接触式或4PP接触式方块电阻测试模组、Mueller Matrix各项异性材料测试模组、Raman结晶率测试模组、电子迁移率表征模组、LBIC光诱导电流测试模组、反射干涉测试模组等多种功能,用户可根据测试需求合理选择搭配功能。

SE2000全光谱椭偏测试平台

是针对产线和实验线推出的多功能高速测试平台。模块化的设计,可选配300mm样品台或350*450mm平板样品台,Robot上片系统,图形识别系统和数据通信系统,实现高速在线监控。在测试功能方面,可自由组合多种从190nm深紫外光谱至2400nm近红外光谱的探测器,并可拓展FTIR红外光谱测试模组、涡电流法非接触式或4PP接触式方块电阻测试模组、Mueller Matrix各项异性材料测试模组、Raman结晶率测试模组、电子迁移率表征模组、LBIC光诱导电流测试模组、反射干涉测试模组等多种功能,使SE2000成为光学和电学特性表征综合测试系统。


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