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Aerotech ABL1000气浮平台,高精密平台

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Aerotech  ABL1000气浮平台

1专为高性能校准和装配应用设计

2分辨率达2nm的直线编码器反馈

3闭环分辨率可达0.5nm(使用A3200控制器)

4全预加负载气浮导轨(空气轴承)

5低噪音线性放大器

6全部非接触设计

行程≤150mm

精度±0.20um

重复定位精度±0.05um

直线度±0.25um

平面度±0.25um


ABL10025-25 mm (1 in) travel stage with linear motor

ABL10050-50 mm (2 in) travel stage with linear motor

ABL10100-100 mm (4 in) travel stage with linear motor

ABL10150-150 mm (6 in) travel stage with linear motor


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