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青岛扩散炉 高温扩散炉 半导体扩散 加热炉体

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所在地:山东 青岛
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卧式扩散炉--扩散炉扩散炉--高温扩散炉,卧式扩散炉,晨立简单介绍:扩散炉--高温扩散炉,卧式扩散炉,晨立设备用途:用于大规模集成电路、电力电子、光    电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。    主要技术指标:★ 炉管数:1~4管★ 配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)★ 恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃)  760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)★ 单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃)    ±0.5℃/24h (800~1280℃)★ 气源路数:    ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器★ 气体控制:    浮子/质量流量计★ 悬臂舟参数: 速度:    20~1000 mm/min    行程:2000 mm    定位精度:±1 mm    载荷:17 Kg★ 超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)噪音:    ≤62dB(A)振动:    ≤3μm晨立***新扩散炉设备新鲜出炉,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格高端产品满足不同工艺的要求.

扩散炉--专业供应扩散炉炉体,加热炉体--晨立

一、炉体材料:

   炉丝:Φ8Φ10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。
   绝缘子:采用99瓷制作,碳化硅管用高脚,石英管用矮脚。
   保温棉采用英国摩根公司生产的高温保温材料。
    外壳: 304不锈钢板卷制而成,连接处采用不锈钢拉铆钉连接。
    热偶座:进口弹簧卡状固定座。
    把口环:陶瓷纤维把口环,既保温,又有一定机械强度。 
二、炉体参数:
     工作温度:   ≤1300
      恒温区长度: 500mm-1000mm
    炉体内径:   Φ90Φ360 mm312英寸)
   规范使用:   寿命可达20个月以上(1200
   替代进口:   全方位配套
三、应用:
       青岛晨立电子有限公司生产的炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁系统的加热装置。可与美国TEMPRESSTHERMCO,荷兰ASM,英国BTU等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外先进的加工工艺,选用进口材料,可应用于处理312英寸硅片的扩散炉/太阳能电池片扩散炉。 
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