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半导体、太阳能芯片扩散设备 扩散炉

青岛晨立电子有限公司
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卧式扩散炉--扩散炉扩散炉--高温扩散炉,卧式扩散炉,晨立简单介绍:扩散炉--高温扩散炉,卧式扩散炉,晨立设备用途:用于大规模集成电路、电力电子、光    电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。    主要技术指标:★ 炉管数:1~4管★ 配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)★ 恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃)  760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)★ 单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃)    ±0.5℃/24h (800~1280℃)★ 气源路数:    ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器★ 气体控制:    浮子/质量流量计★ 悬臂舟参数: 速度:    20~1000 mm/min    行程:2000 mm    定位精度:±1 mm    载荷:17 Kg★ 超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)噪音:    ≤62dB(A)振动:    ≤3μm晨立***新扩散炉设备新鲜出炉,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格高端产品满足不同工艺的要求.


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