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气体质量流量控制器 流量计 控制器 气体流量计厂家直销 迈测仪器

北京迈测仪器有限公司
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C50型气体质量流量控制器和C50M型气体质量流量计采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量,其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制。由于温差量热只和气体的质量流量相关,所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。

本型号产品的满量程可以在 5SCCM到 30SLM的范围内任意定制,性能优秀,价格适中

 

特点                        

 

±1%F.S.的准确度

±0.2%F.S.的高重复精度

响应时间快

稳定性和可靠性高

满量程可以在 5SCCM到 30SLM的范围内任意定制

可应用于大多数腐蚀性气体

同类产品尺寸***小

安装尺寸国际兼容

 

应用                        

 

真空镀膜设备

微反应装置

晶体制备设备

混气配气设备

燃烧测试设备

气相色谱仪及其它分析仪器

 

标定标准                    

标定气体:氮气(N2)

标定温度和压力:  温度—273.15 K(0℃)

气压—101325 Pa(760mm Hg)

基本型号

C50

C50M

流量规格1(N2标定)

0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0~1,2,3,5,10,20,30 SLM

调节阀类型

常闭式

量程比

(2~100)%F.S. 或50:1

流量分辨率

0.1%F.S.

准确度

±1%F.S.   (≤15SLM)

±2%F.S.   (>15SLM)

线性

±0.5%F.S.   (≤15SLM)

±2%F.S.   (>15SLM)

重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

≤2sec

≤1sec

工作压差范围

0.1~0.5MPa   (≤10SLM)

0.02MPa~3MPa

0.1~0.3MPa   (>10SLM)

耐压

3MPa

工作环境温度

5~45℃

电缆接头

DB15pin(针形)

输入输出信号

0~+5.00V (输入阻抗大于100kΩ,输出电流不大于3mA)

0~+5.00V (无输入信号,输出电流不大于3mA)

供电电源要求

+15VDC(50mA),-15VDC(200mA)

+15VDC(50mA),-15VDC(50mA)

对外单点泄漏率

≤1×10-9Pa·m3/S(He)

介质接触材质

316,316L,密封填料

密封材料

丁腈橡胶NBR,三元乙丙橡胶EPDM,氯丁橡胶CR,硅橡胶VMQ,
  氟橡胶FKM,全氟橡胶FFKM,聚四氟乙烯PTFE

管道接头尺寸

VCR型接头:1/4”

双卡套型接头:1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm

外形尺寸

长×宽×高:127×30×100 mm

净重量

0.88kg

0.72kg

注1:满量程流量不限于表中列出的流量规格,可以在5SCCM~30SLM范围内任选,例如123SCCM。




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