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E6C3-AN1E256P/R2M欧姆龙温控器

E6C3-AN1E256P/R2M欧姆龙温控器

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E6C3-AN1E256P/R2M欧姆龙温控器E6C3-AN1E256P/R2M欧姆龙温控器
晶圆片托架落座传感器EE-SPY801 / 802

通过与导槽并用的方式设定落座位置

与晶圆片托架的接触面使用了耐化学品性强的氟素树脂

独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架

采用抗干扰光的变调光方式

使用环保导线(无滑石粉)

本体

形状 形状检测方式 检测距离 动作模式 导线长 型号
1171_lu_1_1
反射型 0~3mm
(红外光)
有晶圆片托架时ON 2m EE-SPY801 2M
1171_lu_1_2
EE-SPY802 2M


附件(另售)

名称 型号
导槽 EE9-C01
EE9-C02


注: 不具备传感器的功能。

 

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