DWS型电容测微仪是电容不接触式通用性精密测量仪器,它既是测振仪,又是测微仪,既能测量动态位移,又能测量静态位移,具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦,无磨损和无惰性特点外,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,频响宽,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点,在中国科学院、中国工程院、航天、航空、高等院校、研究所、工厂和***部门得到广泛应用,成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。仪器远销国内外,收到国内外用户的一致好评。
精密离心机主轴回转误差直接影响精密离心机动态半径的测量、离心加速度输出精度以及精密离心机主轴运行安全性,必须精准测量主轴回转误差参数;介绍一种应用3个电容测微仪测试并分离主轴回转误差与圆度误差的方法,利用MATLAB对三只电容测微仪安装角度误差、主轴全周采样点数、测试系统本底噪声对主轴回转误差测试结果影响进行分析,得出采样点数N、测微仪安装角度误差δα、δβ以及测试系统本底噪声对回转误差分离的影响,基于结果确定了10-6量级精密离心机主轴回转误差测量的几个工程参数。该方法已应用于某高精度精密离心机主轴回转误差精密测试中,实测表明,转速在300 rpm内精密离心机纯回转误差测量结果为0.25 μm,满足10-6量级高精度精密离心机的研制指标需求。
电容式非接触式测微仪,通过电容测头可以测量0-200μm范围内的微小位移,测量精度为纳米级。测微仪由机箱与传感模块组成,可组成多测量通道数。 它基于一个理想的平行板电容器原理,传感器与相对面被测目标形成的两个电极,采用保护环电容器原理,用于测量任何金属时,传感器仍是线性的。
《高精度差动式多层环形电容测微仪》电容传感器是一种通过简单的机械结构就能实现低功耗、良好的动态性能以及非接触式测量等特点的传感器。电容传感器能有效检测到微米级的位移变化,具有非常高的精度,应用前景广泛。目前主要广泛应用于地震灾害监测、航空航天及工业生产中对微小位移、液位、压力、重力等参数的测量。